第388章 追光四期的量產节点验收

  林薇问:“那一千二百四十小时的平均无故障时间，和旧秩序的设备比怎么样？”

  梁志远调出了第五页，是一张对標分析图。

  “旧秩序同类產线的平均无故障时间，行业公开数据是一千小时。我们比他们高出百分之二十四。可靠性提升的主要来源有三个——第一，梯度过渡层的寿命从一千五百小时提升到两千五百小时以上，减少了开腔维护频率。第二，內构件的材料升级，耐腐蚀性提升了百分之四十。第三，预测性维护模型的上线，提前预警了百分之六十的潜在故障。”

  章宸说:“预测性维护模型，用的是天枢ai的设备健康管理模块。模型基于振动、温度、电流、压力等四十七个特徵参数，可以提前七十二小时预测百分之六十的故障。误报率百分之八，漏报率百分之十二。这个精度，还在持续优化。”

  陈醒点头。“可靠性的数据，要整理成白皮书，发给所有追光设备的客户。客户买的不是设备，是设备的正常运行时间。”

  会议进入第三个维度——工艺能力和关键指標控制。

  张京京接过了匯报。她调出了第六页，是一张工艺能力的cpk（过程能力指数）表。

  “后九条產线的关键工艺步骤，cpk值全部在一点三以上。其中，光刻对准精度cpk一点六七，刻蚀均匀性cpk一点五五，薄膜厚度均匀性cpk一点四八。这些数据，和旧秩序的最先进產线处於同一水平。”

  “特別值得提的是，改进后的沉积模块，在梯度过渡层的厚度控制上，cpk从一点二提升到了一点四。这意味著，梯度过渡层的寿命预测更准確，客户可以更精確地安排维护计划。”

  梁志远补充道:“寿命预测模型的精度，从百分之九十六提升到了百分之九十七点三。原因是我们增加了三个特徵参数——腔体颗粒物计数、射频反射功率和气体流量偏差。这三个参数，能更早地捕捉到梯度过渡层的老化跡象。”

  陈醒问:“寿命预测模型精度提升后，误报率和漏报率有什么变化？”

  梁志远调出了第七页。“误报率从百分之五降到百分之三点五，漏报率从百分之四降到百分之二点七。这意味著，一百次预测中，只有三次是虚惊一场，不到三次是漏掉的。客户可以更放心地按照预测模型安排生產。”

  会议进入第四个维度——成本控制和材料消耗。

  老韩站起来，调出了第八页报告。

  “后九条產线的单位晶圆製造成本，比前三条產线低百分之六。原因有三个——第一，设备折旧分摊，九条產线同时运行，固定成本摊薄。第二，材料利用率提升，硅片的边缘损耗从百分之三降到百分之二，靶材的利用率从百分之八十五提升到百分之九十。第三，能源消耗优化，结合合城二期的节能改造，追光四期的单位產品电耗下降了百分之八。”