第388章 追光四期的量產节点验收

  厂房內的洁净室区域，九条崭新的產线整齐排列，银灰色的设备腔体在黄色灯光下泛著金属光泽。梁志远站在中央控制室的大屏前，两侧站著林薇、老韩、张京京、章宸，以及从芯谷赶来的陈醒和苏黛。今天，是追光四期后九条產线的量產节点验收日。

  前三条產线已经平稳运行了四个月，累计產出晶圆一万两千片，良率稳定在百分之九十六点二。但后九条產线採用了部分改进后的工艺模块——梯度过渡层的沉积参数优化了、刻蚀腔体的內构件材料升级了、检测设备的解析度提升了。这些改进是否能在量產环境中达到设计目標，需要今天的数据来说话。

  梁志远调出了第一页报告，標题是《追光四期量產节点验收报告——后九条產线综合评估》。

  “各位，追光四期后九条產线，从安装调试到工艺验证，歷时三个月。今天，我们按照量產验收標准的二十七个维度，逐项匯报数据。所有数据都通过了內部审核和第三方检测机构的覆核。”

  陈醒点头。“开始吧。”

  梁志远翻到了第二页，是產能和良率的综合数据。

  “后九条產线全部投產后，追光四期的总月產能从四千八百片晶圆提升到九千六百片晶圆。首批投料三千片，经过全部工艺步骤，良品晶圆两千八百八十六片，良率百分之九十六点二，和前三条產线完全一致。这个数据说明，工艺的一致性控制达到了设计目標。”

  老韩问:“良率的一致性怎么样？九条產线之间有没有差异？”

  梁志远调出了第三页，是九条產线的良率分布图。

  “良率最高的產线是七號线，百分之九十六点八。最低的是十二號线，百分之九十五点九。极差零点九个百分点，標准差零点三。这个一致性，优於行业平均水平。旧秩序同类產线的產线间良率差异通常在百分之二左右。”

  张京京补充道:“良率最低的十二號线，我们做了根因分析。问题出在刻蚀模块的射频电源稳定性上。更换了电源后，良率提升到百分之九十六点五。这个经验已经固化到预防性维护规程中。”

  会议进入第二个维度——设备可靠性和平均无故障时间。

  梁志远调出了第四页，是设备故障的统计图表。

  “后九条產线试运行期间，累计记录设备故障四十七次。其中，轻微故障三十九次，平均修復时间二点四小时。严重故障八次，平均修復时间十一小时。严重故障中，五次是传感器误报，两次是机械臂定位偏移，一次是真空泵轴承磨损。”

  “整线平均无故障时间一千二百四十小时，比前三条產线的一千二百小时提升了百分之三点三。核心设备的平均无故障时间——光刻机一千八百小时，刻蚀机一千三百小时，沉积设备一千五百小时，检测设备两千一百小时。”