第368章 追光设备的小改型验证

  追光三期厂房的第七號產线前，张京京蹲在地上，手里拿著一个巴掌大小的金属部件。部件的表面呈现出深灰色的金属光泽，摸上去有一种细微的颗粒感——这是涂层改性后的质感。他的身旁站著老韩、梁志远，以及追光设备团队的五个核心工程师。

  今天是追光设备小改型验证的关键节点。张京京的团队花了六周时间，设计了一套不改变腔体结构、只更换內构件材料和涂层的方案。目標很明確——把追光三期主腔体关键內构件的寿命从八百小时延长到一千五百小时以上，撑过追光四期量產线投產前的六个月过渡期。

  小改型的核心是两个技术方向。第一，內构件材料从原来的铝合金换成高温合金，耐腐蚀性和抗热疲劳性能更好。第二，表面涂层从原来的单一氧化铝涂层换成多层复合涂层——氧化铝打底，中间是氮化鈦，表面是类金刚石。三层涂层的总厚度只有两微米，但硬度和耐腐蚀性比原来提升了三倍。

  这两项改动，在实验室环境下已经验证过了。高温合金试样在模擬工艺环境中连续运行了两千小时，表面几乎没有腐蚀。复合涂层试样的硬度测试达到了二十五吉帕，是原来涂层的两倍多。

  但实验室验证和產线验证是两回事。实验室的条件是理想化的——气体纯度百分之一百，温度波动正负零点五度，没有震动，没有人为操作失误。而產线的真实环境要恶劣得多——气体纯度会有波动，温度会有漂移，设备会有震动，操作工的水平也参差不齐。

  所以，张京京必须在追光三期的真实產线上，跑一批测试晶圆，用实际数据证明小改型方案的有效性。

  “张总，第七號產线已经准备好了。主腔体的內构件全部换成了高温合金加复合涂层，真空泵、加热器、质量流量控制器都做了校准。按照你的要求，我们准备了两百片测试晶圆，同一批次，同一规格。”老韩指著產线控制室里的监控屏幕，上面显示著设备的所有关键参数。

  张京京站起来，把手中的內构件递给旁边的工程师。“装回去。我们十点整启动第一批测试，连续跑一百个小时，中途不停机。每十个小时取一次样，测量膜厚均匀性、颗粒度、以及內构件的表面状態。”

  梁志远通过视频连线接入，他的画面显示在新加坡服务中心的会议室里。“张京京，追光mini的小改型验证，能不能和追光三期同步？追光mini的腔体结构和追光三期类似，只是尺寸小一號。如果追光三期的验证通过，追光mini可以直接復用方案。”

  张京京想了想，说:“可以。但追光mini的主腔体材料不同，用的是不锈钢而不是铝合金。复合涂层在不锈钢上的附著力，需要单独验证。你寄两台追光mini的腔体组件回来，我们在合城的实验室做涂层，然后在追光三期上跑验证。追光三期的腔体大，放得下追光mini的组件。”

  梁志远点头。“好。我明天就寄。”

  会议简短，所有人各就各位。张京京走进產线控制室，在一台监控终端前坐下。屏幕上显示著第七號產线的实时状態——腔体真空度一点五帕，温度三百五十度，气体流量每分钟两百毫升，所有参数都在规格范围內。

  “启动。”张京京对著对讲机说。

  產线操作员按下启动按钮。机械臂开始运转，一片晶圆被送入负载腔，经过传输腔，进入主腔体。主腔体內的等离子体在高压下点燃，发出暗紫色的光芒。沉积过程持续了四分钟，晶圆被送出来，表面镀上了一层均匀的薄膜。

  第一片晶圆出来了。张京京亲自走到出片口，用戴著手套的手接过晶圆盒，送到旁边的测试间。测试间里有一台椭偏仪，用来测量薄膜的厚度和均匀性。