第285章 暗影潜伏
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  红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
  滴!
  大屏上的数据疯狂跳动,最终死死卡在一个数字上。
  0.05微米。
  “不行!”
  技术组长急得满头大汗,一拳砸在金属护栏上。
  “误差卡在0.05微米下不去了!这个平整度根本达不到euv光源的点火標准!”
  程美丽站在操作台前,目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
  “机器没问题,是配重。”
  她双手快速在键盘上敲击,调出主轴的震动波形图。
  “新配方的胶体粘度太高,主轴原有的震动频率產生了微共振。”
  “停机。”
  嗡鸣声骤停。
  程美丽大步走上前,纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
  “拿配重铅块来。”