第285章 暗影潜伏

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  咔噠。

  配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。

  那双戴著脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。

  嗤——!

  一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺著管道內壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。

  车间內,刺目的白光照亮了整个操作台。

  高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺著高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。

  “滴胶。”

  程美丽清冷的声音在车间內响起。

  一滴粘稠的原液精准滴落。

  “启动旋涂。”

  嗡——!

  旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆,主轴开始高速旋转,发出平稳的低鸣。

  金黄色的胶体在离心力的作用下,如同一层完美的薄膜,迅速向晶圆四周铺展开来。

  李副部长和几名核心专家屏住呼吸,死死盯著上方悬掛的雷射平整度检测仪。