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第671章 第二步:覆海!破晓 A220 EUV光刻机

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  毕竟和人吵架,也能预防老年痴呆。

  时间转瞬即至,来到8月23日的傍晚。

  盛夏的晚风,将星源科技研发中心的香樟树吹得枝叶婆娑,沙沙作响。

  最里层的核心实验室,此刻却亮如白昼,空气里弥漫着一种近乎凝固的炽热。

  时间的概念被恒定的温度和湿度所模糊,唯一能感受到的流逝,是控制室屏幕上跳动的数字。

  陈延森穿戴整齐,裹得严严实实,与梁劲松、林南、汪象朝和章延杰等人站在控制台前,透过厚重的抗辐射玻璃,凝视着眼前的庞然大物。

  尽管这台euv光刻机只是alpha样机,但金属机身在冷光灯下泛着精密的银辉,数不清的管线如脉络般缠绕,核心腔室的观察窗透出淡紫色的微光。

  euv光源、光学系统和双工件台的技术天堑,竟被他们一个接一个地成功攻克。

  大厅里异常安静,只能听到通风系统低沉的嗡鸣。

  工程师们穿着全套无尘洁净服,像手术室里的医生,在设备周围轻缓走动,进行着最后的检查。

  “老板,各分系统自检完毕,真空机组随时可以启动。”

  林南的声音略带沙哑,冲着陈延森汇报道。

  陈延森点了点头道:“按计划执行,逐步建立光路真空。”

  命令下达后,控制室内的气氛瞬间绷紧。

  巨大的真空泵组开始工作,发出低沉的咆哮。