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第627章 难道没有国外的技术,我们就造不出

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  明白是一回事,造出来又是另一回事。

  第二,镜子打磨完成后,还得在表面镀上40到60对的钼、硅交替薄膜层,且每层厚度的误差都需控制在原子级别。

  镀膜环节所需的磁控溅射技术,国内虽有不少研究所已掌握,但在均匀度和精细度上,仍然不符合euv光刻机的使用需求。

  此外,如何精准检测镜面光滑度也是个难题。

  没有测量,就没有加工!

  检测能力决定了抛光水平的天板。

  2014年华国在高精度干涉仪领域,特别是用于euv波段的检测设备和技术,根本达不到50皮米的测量精度。

  而林南和汪象朝等上百位研发工程师,已是光学赛道的佼佼者,连他们都搞不定的事,再找其他人,大概率也无济于事。

  他们尽力了,只是能力有限。

  陈延森心里清楚,他要是不出手,这场科研大会战多半要成为一个笑话。

  他略一思索,便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。

  与此同时。

  沪城,星源科技光学研发中心。

  林南倚在实验台前,双眼满是红血丝,神色黯淡。

  汪象朝坐在一旁,拍了拍林南的肩膀说道:“别着急,车到山前必有路,慢慢啃呗,既然方案都有了,还怕搞不定工艺问题?”