第309章 第一道光
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  他拿起一片对著光看。
  上面刻蚀的电路图案模糊不清,有的地方线条断了,有的地方粘连在一起,像小孩子拙劣的涂鸦。
  “这是第一炉?”赵四问。
  “第三炉了。”刘工苦著脸,“第一炉全军覆没,第二炉好点,有3%能用。这炉……最多5%。”
  “问题出在哪?”
  “不知道。”陈启明抓了抓头髮,头髮上沾著不知名的化学粉末,
  “光刻胶不均匀?曝光时间不对?显影液浓度有问题?都有可能。我们挨个试,试了三天,还是这样。”
  赵四放下晶圆,走到光刻机前。
  这台机器是六十年代初从东德进口的,原本用於生產简单的电晶体。
  控制面板上的德文標籤已经磨损,几个旋钮的刻度都模糊了。
  “机器校准过吗?”
  “校准了三次。”张卫东说,“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过,镜片没问题。”
  “光刻胶呢?”
  “按配方配的。”林雪接口,“我们试了三种配方,这种效果最好,但也……”
  赵四沉默了一会儿,环视车间。