第16章 研发进度

  隨后，氧化设备，蒸发台、外延生长设备、研磨拋光设备等项目也相继完成研发。

  到五月时，所有项目就只剩下光刻机还没有完成了。

  而光刻机这个大系统中，所有分系统其实都已经做出来了，问题卡在精度上。

  如果现有分系统直接组装起来投入使用，光刻机的定位精度將低於五微米，曝光图形精度（线宽）则在十微米级別，这个水平远远达不到徐卫国的预期，距离歷史上第一台商业化光刻机精度也差的太远。

  徐卫国当然是不甘心拿个次品出来的，他寧愿把研发时间拉长，继续精雕细琢。

  这一拖，就拖到了七月。

  这天上午，晴空万里，徐卫国照例待在实验室，亲自参与光刻机的调试改进。

  正忙著，实验室门口突然来人了。

  却是所长严纪慈。

  此时的徐卫国正坐在显微镜前观察刚製作出来的掩模版，严纪慈並未打扰他，只是在一旁站著观看。

  直到徐卫国从显微镜前站起来，跟一旁的同伴吩咐了几句，一转身，这才看到严纪慈。

  “所长！您什么时候来的。”

  严纪慈笑道：“我也刚来没多久。……你们这確实是凉快啊！我都不想走了。”

  徐卫国笑了笑，他们这是恆温实验室，安装了大功率空调的，倒不是搞特殊，而是因为温度会影响设备精度，不得不装。

  不过在这炎炎夏日，在空调房工作也確实是一种享受，大家都不大愿意出门。